金融界2月5日消息，有投资者在互动平台向机器人提问：你好，子公司新松半导体在半导体行业有哪些领先技术和产品。
公司回答表示：目前，公司半导体装备产业化应用已初具规模，自主开发的产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台。在产品技术的研发迭代方面，公司在既有真空机械手产品的基础上，开展技术迭代与升级工作，如通过优化真空机械手的设计结构，提高晶圆搬运节拍；通过更新控制器控制系统软件功能，提高整体传输精度等。
本文源自金融界
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